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常見問題

5nm工藝起飛 ASML宣布全新半導(dǎo)體技術(shù)

日期:2021-03-22 21:38:09

最近不管是通過抖音短視頻、還是新聞網(wǎng)站,以及我們的微信公眾號上都可以在頭版上發(fā)現(xiàn)關(guān)于芯片的新聞資訊,也有關(guān)于華為和孟晚舟被加拿大這個國際流氓判處的新聞,其中大家的重點意思都是在討論芯片,特別是中國芯片的問題,一旦中美脫鉤,我們的芯片受制裁怎么辦,不同的出發(fā)點,相同的論述點。但是提到芯片,始終離不開一個公司。

那就是荷蘭ASML公司,大家都知道ASML是全球唯一,你沒聽錯,就是全球唯一EUV光刻機供應(yīng)商,7nm及以下的芯片加工工藝生產(chǎn)制造都要靠它們家光刻機及相關(guān)設(shè)備。通過相關(guān)的介紹我們發(fā)現(xiàn)ASML僅僅只是光刻機這一塊優(yōu)秀。

晶圓

前幾天他們通過媒體宣布了另外一個新產(chǎn)品首創(chuàng)第一代HMI多光束檢測機HMI eScan1000,這種設(shè)備適用于5nm晶圓制造及更先進工藝,通過先進的檢測設(shè)備使得晶圓的產(chǎn)能大漲600%,沒錯600%。

關(guān)注過芯片制造產(chǎn)業(yè)的人都制造,現(xiàn)在隨著制程工藝不斷提升,晶圓的制造越來越精密復(fù)雜,這也導(dǎo)致晶圓制造中的錯誤更多,HMI eScan1000是一套根據(jù)HMI多光束技術(shù)的全新檢測系統(tǒng),設(shè)備的內(nèi)部也有復(fù)雜的光電子系統(tǒng),能夠產(chǎn)生控制多個電子束,然后根據(jù)反射回來的電子束成像來分析晶圓的產(chǎn)品質(zhì)量,并有高速運行的平臺,來加以控制測試的晶圓數(shù)量,然后通過計算系統(tǒng)處理電子束反射回來的數(shù)據(jù)。

我們通過相關(guān)的文章總結(jié)來說,ASML最新研發(fā)的這個HMI eScan1000機器實際上是一臺驗證先進工藝制造的晶圓質(zhì)量是否達標的系統(tǒng)。

晶圓制造

畢竟生產(chǎn)工藝越先進,相對應(yīng)的技術(shù)難度就更高,對檢測系統(tǒng)的要求就越高越重要,它的檢測精度、一定時期的檢驗通過數(shù),直接決定了晶圓生產(chǎn)的效率。

ASMLHMI eScan1000創(chuàng)新點在于它是能夠同時產(chǎn)生、控制電子束的新設(shè)備,隨著檢測效率的提升,可以大幅度減少晶圓質(zhì)量分析所用的時間,直接提高產(chǎn)品的交付。

介紹到這里的時候,大家有沒有什么想法呢?我覺得我們最重要的還是要認清我們的技術(shù)差距,認清核心技術(shù)買不到的國際形勢,認清落后就要挨打的殘酷教訓(xùn)。腳踏實地把我們中國的芯片技術(shù)、芯片設(shè)計、芯片設(shè)備研發(fā)落到實處,奮起追趕,不要讓過往的悲情歷史重演。

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